GaAs Wafer Spezifikationen

Tabellarische Ansicht der Spezifikationen
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Spezifikationen für 200 mm Durchmesser GaAs Wafer

Leitfähigkeit, Dotierung und Wachstumsverfahren

Die 200 mm GaAs Wafer sind in verschiedenen Konfigurationen erhältlich, basierend auf ihrer Dotierung, Ätzgrubendichte und Anwendungsmöglichkeiten.

  1. Wafer mit SI (n-type) Leitfähigkeit und UN/C Dotierung:

    • Ätzgrubendichte: ≤12,000
    • Wachstumsmethode: VGF
    • Dicke: 675
    • Flat/Notch: Notch
    • Polish: double
    • Anwendungen: HBT, pHEMT, Solar

Spezifikationen für 150 mm Durchmesser GaAs Wafer

Leitfähigkeit, Dotierung und Wachstumsverfahren

Die 150 mm GaAs Wafer sind in verschiedenen Konfigurationen erhältlich, basierend auf ihrer Dotierung, Ätzgrubendichte und Anwendungsmöglichkeiten.

  1. Wafer mit SI (n-type) Leitfähigkeit und UN/C Dotierung:

    • Ätzgrubendichte: ≤10,000
    • Wachstumsmethode: VGF
    • Dicke: 675
    • Flat/Notch: Notch
    • Polish: double
    • Anwendungen: HBT, pHEMT, Solar
  2. Wafer mit SC (n-type) Leitfähigkeit und Si Dotierung:

    • Ätzgrubendichte: ≤3,000
    • Wachstumsmethode: VGF
    • Dicke: 675
    • Flat/Notch: Flat, Notch
    • Polish: double
    • Anwendungen: LED, HBLED, Solar
  3. Wafer mit SC (n-type) Leitfähigkeit und Si Dotierung:

    • Ätzgrubendichte: ≤50
    • Wachstumsmethode: VGF
    • Dicke: 675
    • Flat/Notch: Flat, Notch
    • Polish: double
    • Anwendungen: LASER
  4. Wafer mit SC (p-type) Leitfähigkeit und Zn Dotierung:

    • Ätzgrubendichte: ≤5,000
    • Wachstumsmethode: VGF
    • Dicke:
    • Flat/Notch: Flat, Notch
    • Polish: double
    • Anwendungen: LED, HBLED, Solar

Spezifikationen für 100 mm Durchmesser GaAs Wafer

Leitfähigkeit, Dotierung und Wachstumsverfahren

Die 100 mm GaAs Wafer sind in verschiedenen Konfigurationen erhältlich, basierend auf ihrer Dotierung, Ätzgrubendichte und Anwendungsmöglichkeiten.

  1. Wafer mit SI (n-type) Leitfähigkeit und UN/C Dotierung:

    • Ätzgrubendichte: ≤7,500
    • Wachstumsmethode: VGF
    • Dicke: 625
    • Flat/Notch: Flat
    • Polish: double
    • Anwendungen: HBT, pHEMT
  2. Wafer mit SI (n-type) Leitfähigkeit und UN/C Dotierung:

    • Ätzgrubendichte: ≤100,000
    • Wachstumsmethode: LEC
    • Dicke: 625
    • Flat/Notch: Flat
    • Polish: double
    • Anwendungen: pHEMT, MESFET
  3. Wafer mit SC (n-type) Leitfähigkeit und Si Dotierung:

    • Ätzgrubendichte: ≤3,000
    • Wachstumsmethode: VGF
    • Dicke: 625, 450
    • Flat/Notch: Flat
    • Polish: single, double
    • Anwendungen: LED, HBLED, Detector
  4. Wafer mit SC (n-type) Leitfähigkeit und Si Dotierung:

    • Ätzgrubendichte: ≤100
    • Wachstumsmethode: VGF
    • Dicke: 625, 450
    • Flat/Notch: Flat
    • Polish: single, double
    • Anwendungen: LASER
  5. Wafer mit SC (n-type) Leitfähigkeit und Te Dotierung:

    • Ätzgrubendichte: ≤100,000
    • Wachstumsmethode: LEC
    • Dicke: 450
    • Flat/Notch: Flat
    • Polish: single
    • Anwendungen: LED
  6. Wafer mit SC (p-type) Leitfähigkeit und Zn Dotierung:

    • Ätzgrubendichte: ≤3,000
    • Wachstumsmethode: VGF
    • Dicke: 625, 450
    • Flat/Notch: Flat
    • Polish: single, double
    • Anwendungen: LED, HBLED, Detector, Solar

Spezifikationen für 3 mm Durchmesser GaAs Wafer

Leitfähigkeit, Dotierung und Wachstumsverfahren

Die 3 mm GaAs Wafer sind in verschiedenen Konfigurationen erhältlich, basierend auf ihrer Dotierung, Ätzgrubendichte und Anwendungsmöglichkeiten.

  1. Wafer mit SI (n-type) Leitfähigkeit und UN/C Dotierung:

    • Ätzgrubendichte: ≤7,500
    • Wachstumsmethode: VGF
    • Dicke: 625
    • Flat/Notch: Flat
    • Polish: double
    • Anwendungen:
  2. Wafer mit SI (n-type) Leitfähigkeit und UN/C Dotierung:

    • Ätzgrubendichte: ≤70,000
    • Wachstumsmethode: LEC
    • Dicke: 625
    • Flat/Notch: Flat
    • Polish: double
    • Anwendungen: HBT, pHEMT
  3. Wafer mit SC (n-type) Leitfähigkeit und Si Dotierung:

    • Ätzgrubendichte: ≤1,000
    • Wachstumsmethode: VGF
    • Dicke: 625, 450
    • Flat/Notch: Flat
    • Polish: single, double
    • Anwendungen: LED, HBLED, LASER, Detector
  4. Wafer mit SC (n-type) Leitfähigkeit und Si Dotierung:

    • Ätzgrubendichte: ≤100
    • Wachstumsmethode: VGF
    • Dicke: 625, 450
    • Flat/Notch: Flat
    • Polish: single, double
    • Anwendungen: LASER
  5. Wafer mit SC (n-type) Leitfähigkeit und Te Dotierung:

    • Ätzgrubendichte: ≤70,000
    • Wachstumsmethode: LEC
    • Dicke: 450
    • Flat/Notch: Flat
    • Polish: single
    • Anwendungen: LED

Standardmaße und Toleranzen für 150 mm mm GaAs-Wafer

Die mechanischen Spezifikationen der Wafer sind wie folgt:

  • Diameter: 150 mm, Tolerance: +/- 0.5 mm
  • Dicke, Zentrum: VGF (Vertical Gradient Freeze): , Tolerance:
  • Option A: 675 µm, Tolerance: +/- 25 µm
  • Option B: 550 µm, Tolerance: +/- 25 µm
  • Notch Orientation: [010] degrees, Tolerance: +/- 2 degrees
  • Notch Depth: 1 mm, Tolerance: +0.25/-0.0 mm

Standardmaße und Toleranzen für 100 mm mm GaAs-Wafer

Die mechanischen Spezifikationen der Wafer sind wie folgt:

  • Diameter: 100 mm, Tolerance: +/- 0.5 mm
  • Dicke, Zentrum: VGF (Vertical Gradient Freeze): 675 µm, Tolerance: +/- 25 µm
  • Primary Flat Lenght: 32.5 mm, Tolerance: +/- 2 mm
  • Secondary Flat Lenght: 18 mm, Tolerance: +/- 2 mm

Standardmaße und Toleranzen für 200 mm mm GaAs-Wafer

Die mechanischen Spezifikationen der Wafer sind wie folgt:

  • Diameter: 200 mm, Tolerance: +/- 0.5 mm
  • Dicke, Zentrum: VGF (Vertical Gradient Freeze): 675 µm, Tolerance: +/- 25 µm
  • Notch Orientation: [010] degrees, Tolerance: +/- 2 degrees
  • Notch Depth: 1 mm, Tolerance: +0.25/-0.0 mm

Standardmaße und Toleranzen für 3" mm GaAs-Wafer

Die mechanischen Spezifikationen der Wafer sind wie folgt:

  • Diameter: 76.2 mm, Tolerance: +/- 0.5 mm
  • Dicke, Zentrum: VGF (Vertical Gradient Freeze): 625 µm, Tolerance: +/- 25 µm
  • Primary Flat Lenght: 22 mm, Tolerance: +/- 2 mm
  • Secondary Flat Lenght: 11 mm, Tolerance: +/- 2 mm